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拋光混床是硅晶圓超純水設(shè)備的核心單元，負(fù)責(zé)提升水質(zhì)純度，其運(yùn)行狀態(tài)直接影響出水質(zhì)量。實(shí)際使用中，受進(jìn)水水質(zhì)、運(yùn)行方式等因素影響，易出現(xiàn)多種故障，需精準(zhǔn)識(shí)別并妥善處理。
樹脂性能衰減是高頻問(wèn)題。長(zhǎng)期運(yùn)行后，樹脂吸附能力下降，會(huì)導(dǎo)致出水電阻率降低、TOC超標(biāo)，無(wú)法滿足硅晶圓清洗的高水質(zhì)要求。這多與進(jìn)水預(yù)處理不徹底，雜質(zhì)累積污染樹脂有關(guān)，也可能是樹脂使用周期過(guò)長(zhǎng)自然老化所致。
樹脂混合不均與亂層也較常見。混合不均易導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部水流偏流，出水水質(zhì)波動(dòng)大;若運(yùn)行中壓力驟變或反洗操作不規(guī)范，會(huì)造成樹脂層亂層，進(jìn)一步加劇出水不穩(wěn)定。日常需做好進(jìn)水預(yù)處理，定期監(jiān)測(cè)樹脂性能，規(guī)范反洗流程，及時(shí)處置故障以保障設(shè)備穩(wěn)定。
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