硅晶圓行業(yè)電子超純水設(shè)備運(yùn)行中會產(chǎn)生一定量廢水，這類廢水既含有微量污染物，又具備回收再利用價值。兼顧廢水回收與環(huán)保合規(guī)，是硅晶圓行業(yè)綠色生產(chǎn)的核心要求，需通過“分類處理、分級回收、全程管控、達(dá)標(biāo)排放”的思路，實(shí)現(xiàn)資源利用與環(huán)保要求的雙向平衡，契合行業(yè)可持續(xù)發(fā)展需求。

　　分類收集與針對性處理是兼顧的基礎(chǔ)。硅晶圓生產(chǎn)中電子超純水設(shè)備產(chǎn)生的廢水，需按污染程度、成分特性分類收集，避免不同類型廢水混流導(dǎo)致回收難度增加或污染擴(kuò)散。對污染較輕、水質(zhì)較潔凈的廢水，可通過簡單凈化處理后回收用于設(shè)備沖洗、綠化灌溉等非核心用水場景;對含有微量重金屬、有機(jī)物等污染物的廢水，需先進(jìn)行合規(guī)處理，去除有害物質(zhì)后再納入回收系統(tǒng)或達(dá)標(biāo)排放。

　　構(gòu)建分級回收體系，提升資源利用效率。結(jié)合硅晶圓生產(chǎn)用水需求差異，搭建多級廢水回收系統(tǒng)，根據(jù)處理后廢水的水質(zhì)情況，匹配不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的用水標(biāo)準(zhǔn)。例如，處理后的廢水可優(yōu)先回用于電子超純水設(shè)備預(yù)處理環(huán)節(jié)，降低原水消耗;水質(zhì)達(dá)標(biāo)的再生水可用于生產(chǎn)輔助工序，實(shí)現(xiàn)水資源梯級利用，同時減少廢水排放量。

　　強(qiáng)化全程管控，筑牢環(huán)保合規(guī)底線。廢水回收與處理全過程需建立完善的監(jiān)測機(jī)制，實(shí)時跟蹤廢水收集、處理、回收、排放各環(huán)節(jié)的水質(zhì)指標(biāo)，確保回收水質(zhì)符合復(fù)用標(biāo)準(zhǔn)，排放水質(zhì)嚴(yán)格遵守環(huán)保法規(guī)要求。同時，規(guī)范廢水處理設(shè)施的運(yùn)行管理，定期開展設(shè)備維護(hù)與校驗(yàn)，避免處理設(shè)施失效導(dǎo)致污染隱患。

　　依托合規(guī)工藝與應(yīng)急保障兜底。選用符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的廢水處理與回收工藝，不采用會產(chǎn)生二次污染的處理方式。建立突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急方案，針對廢水泄漏、處理設(shè)施故障等情況制定應(yīng)對措施，確保在保障廢水回收的同時，全面滿足環(huán)保合規(guī)要求，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益的統(tǒng)一。